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네덜란드 ASM이 경기도 화성시 동탄에 첨단 생산라인을 짓는다. 지난 2015년 9월 경기도와 투자 협약 이후 2년여간 생산 계획, 라인 설계를 마친 뒤 본격 투자에 돌입했다. 해외 유력 반도체 장비 업체가 국내에 완전한 생산라인을 갖추는 것은 드문 일이다. 유럽계 장비 업체 중에선 처음이다. 일부 미국계 장비 업체가 국내에 생산 공장을 보유하고 있긴 하나 핵심 부품은 본사에서 조달하고 국내에선 단순 조립 작업만 하고 있다.

ASM 화성 동탄 공장에선 신장비 연구개발(R&D)과 제품 생산을 모두 병행하게 된다”면서 “국내 고객사 요구에 맞춤형으로 대응할 수 있게 됐다
한국에서 개발 생산한 ASM 장비를 아시아 각국으로 수출해 한국 국가 경제에도 크게 기여하게 될 것

ASM은 반도체 증착장비 부문에서 경쟁력을 갖춘 네덜란드의 대표 장비 기업
화성 신공장에서 생산하게 될 대표 장비는 플라즈마 원자층증착(PEALD)기다. PEALD는 원자층 두께로 매우 얇은 박막을 실리콘웨이퍼에 덮을 수 있다. ASM 플라즈마 PEALD 장비는 D램 패터닝 공정에서 주로 쓰인다.
국내에서 장비 R&D와 생산을 모두 담당하게 되기 때문에 국내 장비 부분품, 파츠 업체와 협력이 무엇보다 중요하다”면서 “해외 수출이 원활하게 이뤄지면 국내 장비 후방 생태계와 좋은 상생 모델을 만들게 될 것


ASMK의 대표 품목은 ALD 장비인 씨너지스(Synergis), 플라즈마 기반 ALD 장비인 타이탄 엔티(TITAN NT), 에피택시(Epitaxy) 증착 장비인 인트레피드 등이 있다. 씨너지스는 차세대 반도체 제조시 메탈라인 및 증착막을 형성할 때 활용되는 장비다. 고품질의 ALD 필름을 저온에서 처리해야 하는 공정에 적합하다.

타이탄 엔티는 차세대 3D 구조 반도체를 생산할 때 기포나 공극 없이 막을 형성하는 갭 필(gap fill), 선택적 증착 공정에서 활용되는 PEALD 장비다. ASM의 PEALD 장비는 관련 장비 가운데 세계에서 처음으로 양산 라인에 도입된 바가 있다.

에피택시 증착 공정에 사용되는 인트레피드는 웨이퍼 표면에 실리콘(Si), 실리콘-제르마늄(SiGe), 실리콘 인광(SiP) 등 실리콘 기반 화합물을 증착할 수 있는 장비다. 4개의 챔버를 갖춰 생산성이 높다. 챔버별로 정밀한 온도 제어가 가능하다.